我司TYSiC可向客户提供P型外延片

    2013年2月，公司已经成功完成对P型外延层的研发。已经可以向客户提供P型外延片及P型外延层生长。
    掺杂元素Al；
    外延厚度0.5~5um，容差±10%，均匀性3%；
    掺杂浓度5E15~1E19cm-3，容差±15%，均匀性10%。